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黄光实验室 什么是黄光室?

黄光实验室

黄光实验室 什么是黄光室?

什么是黄光室?

什么是黄光室?

黄光室:是进行IC晶片微影成像术的区域,将光阻材料利用旋镀法被覆在晶园上,而后再放置于曝光机下进行曝光,以使紫外线光源透过光罩照射于光阻而得到感光图像,最后再以药剂进行显影而得到实际图像。

早期曝光机的光源为全光谱光源,后演进到G-LINE(436 mm)光源,目前最为广泛使用的为I-LINE(436mm)光源,对于0.3ūm线宽以下的IC制程,则需采用深紫外线(deep UV)248mm光源,甚至X光或电子束,目前光源较采用高压水银(汞)弧灯,由于其特性频谱,所以须经过滤光片以获得所需的I-LINE(365mm)光线。

为了避免光阻在曝光前、曝光后受到曝光机以外的光线照射而曝光,所以整个作业必须在黄光室下进行,换言之,所有照明用的光源须加以过滤,照明灯底罩及各式隔间门及窗皆应具有过滤波长380mm紫外光的能力。但必须注意的一点,有些黄色透明板虽然具有黄光,但对于紫外光却未完全隔绝,严格来说,这是不合格的产品。因为常被用于黄光室的5mm 黄色压克力板,在I-LINE(365mm)附近确有不少的穿透率。

co2-3是什么化学?

没有CO2-3这种物质,应该是(CO3)2-是碳酸根的化学式,是一种弱酸根,在水中易水解产生碳酸氢根和氢氧根。因为碳酸根离子易与氢离子结合生成二氧化碳气体,所以可用酸来检验。实验室一般用稀盐酸与澄清石灰水来检验。加入盐酸生成的气体通入澄清的石灰水中。可以观察到有无色无味的气体生成,且该气体通入澄清的石灰水中有白色沉淀生成的现象。则说明该物质中含有碳酸根离子或者碳酸氢根离子。

co2-3是什么化学?

co2o3是化学名称三氧化二钴。三氧化二钴,为无机化合物,是钴的黑色氧化物,一般用于玻璃、陶磁制品的上彩,也就是知名的钴蓝色,此种特制钴蓝玻璃亦用于精细的玻璃加工业中做为滤光眼镜以去除热玻璃所发出的钠黄光,让操作员更能看清楚玻璃的细节。

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